近期,一则信息在各大视频平台广为流传,称清华大学EUV名目把ASML的光刻机渺小化,成功了光刻机国产化,并示意这个名目曾经在雄安新区落地。
对此,中国电子工程设计院有限公司(下称中国电子院)9月18日发声,称该名目并非网传的国产光刻机工厂,而是北京高能同步辐射光源名目(HEPS)。
北京高能同步辐射光源名目坐落于北京怀柔雁栖湖畔,是国度“十三五”严重科技基础设备,它是我国第一台高能量同步辐射光源,也是环球上亮度最高的第四代同步辐射光源之一。该名目早在2019年就开局树立、将于2025年底投入经常使用。
HEPS是干嘛用的呢?它的作用是经过减速器将电子束减速到6GeV,而后注入周长1360米的贮存环,用凑近光速的速度坚持利用。电子束在贮存环的不同位置经过弯转磁铁或许各种拔出件时就会沿着偏转轨道切线的方向,监禁出稳固、高能量、高亮度的光,也就是同步辐射光。
中国电子院解释称,HEPS可以看成是一个超精细、超高速、具备弱小穿透力的巨型X光机,它发生的小光束可以穿透物质、深化外部启动平面扫描,从分子、原子的尺度多维度地观察宏观环球,HEPS是启动迷信试验的大迷信装置,并不是网传的光刻机工厂。
中国电子院称,该名目由全国勘察设计巨匠、国投团体首席迷信家娄宇带队,中国电子院多个技术科研和设计团队协同协作,从名目可研立项到名目落地攻克了多项技术和工艺难关。目前高能同步辐射光源配套工程已片面完工。
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近日,网上疯传清华大学弯道超车,曾经打破EUV光刻机名目,成功了光刻机的渺小化、工厂也曾经在雄安新区落地,就是下图中这个样子,难道这真的是国产光刻机工厂,不,中国电子院对此做出了具体的解读,这是北京高能同步辐射光源名目,HEPS,!HEPS坐落于北京怀柔雁栖湖畔,是国度,十三五,严重科技基础设备,它是我国第一台高能量同步辐射光源,也是...。
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