本篇文章重要来聊一聊由清华SSMB,EUV引发的几个热点话题,第一个热点话题,清华大学的SSMB,EUV可无法以作为EUV光刻机的光源,实践过去说是齐全没疑问的,清华大学唐传祥传授在,稳态微聚束减速器光源,这篇论文当中曾经比拟详细地论述了SSMB的原理、试验验证、外围疑问及应战还有SSMB在芯片光刻当中的运行后劲,并且与LPP、SR,...。
更新时间:2023-09-21 18:36:33
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