本篇文章重要来聊一聊由清华SSMB，EUV引发的几个热点话题，第一个热点话题，清华大学的SSMB，EUV可无法以作为EUV光刻机的光源，实践过去说是齐全没疑问的，清华大学唐传祥传授在，稳态微聚束减速器光源，这篇论文当中曾经比拟详细地论述了SSMB的原理、试验验证、外围疑问及应战还有SSMB在芯片光刻当中的运行后劲，并且与LPP、SR，...。
更新时间：2023-09-21 18:36:33
最近这一周，有一个科技资讯传的很凶猛，说清华大学弄出了一种新的发生极深紫外光源的原理，可以打破光刻机的卡脖子技术难题，甚至还有很多人传说我国曾经在雄安开局树立光刻工厂了，还有图有假相，说得有鼻子有眼，很多人来问我是不是真的，我先说答案，新的光源发生原理是真的，但那个早在2010年就提出了，目前还处在原理验证阶段，离真正适用少说也还有1...。
更新时间：2023-09-21 17:04:49
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