本篇文章重要来聊一聊由清华SSMB,EUV引发的几个热点话题,第一个热点话题,清华大学的SSMB,EUV可无法以作为EUV光刻机的光源,实践过去说是齐全没疑问的,清华大学唐传祥传授在,稳态微聚束减速器光源,这篇论文当中曾经比拟详细地论述了SSMB的原理、试验验证、外围疑问及应战还有SSMB在芯片光刻当中的运行后劲,并且与LPP、SR,...。
更新时间:2023-09-21 18:36:33
最近这一周,有一个科技资讯传的很凶猛,说清华大学弄出了一种新的发生极深紫外光源的原理,可以打破光刻机的卡脖子技术难题,甚至还有很多人传说我国曾经在雄安开局树立光刻工厂了,还有图有假相,说得有鼻子有眼,很多人来问我是不是真的,我先说答案,新的光源发生原理是真的,但那个早在2010年就提出了,目前还处在原理验证阶段,离真正适用少说也还有1...。
更新时间:2023-09-21 17:04:49
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